• 名称激光共聚焦显微镜
• 资产编号#1D120006
• 型号VK-X-1000/VK-X1050
• 规格台
• 产地日本
• 厂家基恩士
• 所属品牌基恩士/KEYENCE
• 出产日期
• 购买日期
• 所属单位医用材料与植介入器械平台
• 使用性质科研
• 所属分类材料测试
• 联系人刘攀攀
• 联系电话
• 联系邮箱
• 放置地点先健科技大厦

主要规格及技术指标

综合倍率：28800倍以下 视野 (最小视野范围)：11 µm至7398 µm 帧率 (激光测量速度)：4至125 Hz、7900 Hz*2 光学系统：针孔共聚焦光学系统、变焦 光接收元件：16 bit感应光电倍增器、超高精细彩色CMOS 扫描方式：自动上下限设定功能、高速光量最佳化功能 (AAGII)、反射光量不足补充功能 (双扫描) 高度测量显示分辨率：5 nm 高度测量激光共聚焦重复精度：20倍：40 nm、50倍：20 nm 高度测量变焦重复精度：5倍：500 nm、10倍：100 nm、20倍：50 nm、50倍：30 nm 高度测量准确性：0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm) 宽度测量显示分辨率：10 nm 宽度测量激光共聚焦重复精度：20倍：100 nm、50倍：50 nm 宽度测量变焦重复精度：5倍：400 nm、10倍：400 nm、20倍：120 nm、50倍：65 nm 宽度测量准确性：测量值±2 % 以内*3 XY载物台结构：手动运行范围70 mm x 70 mm；电动运行范围100 mm x 100 mm 观察模式：超高精细彩色CMOS 图像、16 bit 激光彩色共焦点图像、共焦点 + ND 滤波器光学系统、C-激光微分干涉图像； 测量光源：红色半导体激光 661 nm 最大输出：1 mW

主要功能及特色

对物体的原貌状态在非破坏，非接触，普通的环境下进行表面形貌、3D轮廓、粗糙度分析。可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。纳米级物质、镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。