激光共聚焦显微镜
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收费标准
机时0元/小时 -
设备型号
VK-X-1000/VK-X1050 -
当前状态
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管理员
刘攀攀 -
放置地点
先健科技大厦11层实验室
- 仪器信息
- 预约资源
- 附件下载
- 公告
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名称
激光共聚焦显微镜
资产编号
#1D120006
型号
VK-X-1000/VK-X1050
规格
台
产地
日本
厂家
基恩士
所属品牌
基恩士/KEYENCE
出产日期
购买日期
所属单位
医用材料与植介入器械平台
使用性质
科研
所属分类
材料测试
资产负责人
刘攀攀
联系电话
联系邮箱
放置地点
先健科技大厦11层实验室
- 主要规格&技术指标
- 主要功能及特色
主要规格&技术指标
综合倍率：28800倍以下
视野 (最小视野范围)：11 µm至7398 µm
帧率 (激光测量速度)：4至125 Hz、7900 Hz*2
光学系统：针孔共聚焦光学系统、变焦
光接收元件：16 bit感应光电倍增器、超高精细彩色CMOS
扫描方式：自动上下限设定功能、高速光量最佳化功能 (AAGII)、反射光量不足补充功能 (双扫描)
高度测量显示分辨率：5 nm
高度测量激光共聚焦重复精度：20倍：40 nm、50倍：20 nm
高度测量变焦重复精度：5倍：500 nm、10倍：100 nm、20倍：50 nm、50倍：30 nm
高度测量准确性：0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)
宽度测量显示分辨率：10 nm
宽度测量激光共聚焦重复精度：20倍：100 nm、50倍：50 nm
宽度测量变焦重复精度：5倍：400 nm、10倍：400 nm、20倍：120 nm、50倍：65 nm
宽度测量准确性：测量值±2 % 以内*3
XY载物台结构：手动运行范围70 mm x 70 mm；电动运行范围100 mm x 100 mm
观察模式：超高精细彩色CMOS 图像、16 bit 激光彩色共焦点图像、共焦点 + ND 滤波器光学系统、C-激光微分干涉图像；
测量光源：红色半导体激光 661 nm
最大输出：1 mW
视野 (最小视野范围)：11 µm至7398 µm
帧率 (激光测量速度)：4至125 Hz、7900 Hz*2
光学系统：针孔共聚焦光学系统、变焦
光接收元件：16 bit感应光电倍增器、超高精细彩色CMOS
扫描方式：自动上下限设定功能、高速光量最佳化功能 (AAGII)、反射光量不足补充功能 (双扫描)
高度测量显示分辨率：5 nm
高度测量激光共聚焦重复精度：20倍：40 nm、50倍：20 nm
高度测量变焦重复精度：5倍：500 nm、10倍：100 nm、20倍：50 nm、50倍：30 nm
高度测量准确性：0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度 µm)
宽度测量显示分辨率：10 nm
宽度测量激光共聚焦重复精度：20倍：100 nm、50倍：50 nm
宽度测量变焦重复精度：5倍：400 nm、10倍：400 nm、20倍：120 nm、50倍：65 nm
宽度测量准确性：测量值±2 % 以内*3
XY载物台结构：手动运行范围70 mm x 70 mm；电动运行范围100 mm x 100 mm
观察模式：超高精细彩色CMOS 图像、16 bit 激光彩色共焦点图像、共焦点 + ND 滤波器光学系统、C-激光微分干涉图像；
测量光源：红色半导体激光 661 nm
最大输出：1 mW
主要功能及特色
对物体的原貌状态在非破坏，非接触，普通的环境下进行表面形貌、3D轮廓、粗糙度分析。可根据样品工件的材料、形状和测量范围，选择激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化等三种不同的扫描原理，进行高精度测量。纳米级物质、镜面体、透明体等测量难度高的材料也能实现高速、高精度、大范围的测量。
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